等离子体处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201610055894.3
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2016-01-27
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	等离子体处理装置
申请号	CN201610055894.3	申请日期	2016-01-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-03	公开/公告号	CN105826155A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	出口新悟;山田洋平
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳;王雪燕

摘要

本发明提供在确保机械强度的同时，利用比较轻量的机构安装有金属窗的等离子体处理装置。在进行了真空排气的处理空间(100)内对被处理基板(G)执行等离子体处理的等离子体处理装置(1)中，金属制的处理容器(10)具有被处理基板(G)的载置台，在封闭形成于其上表面的开口的位置隔着绝缘部件(31)设置有导电性的金属窗(3)。上述金属窗(3)被配置于等离子体产生用的等离子体天线(5)的上方侧的顶板部(61)悬挂支承。并且，该顶板部(61)被具有横架部(71、711)和脚柱部(72)的骨架结构的顶板支承机构(7)悬挂支承。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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