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一种硅片清洗机的热吹风烘干装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621012946.0
  • IPC分类号:F26B21/00
  • 申请日期:
    2016-08-30
  • 申请人:
    浙江德西瑞光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种硅片清洗机的热吹风烘干装置
申请号CN201621012946.0申请日期2016-08-30
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F26B21/00IPC分类号F;2;6;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人浙江德西瑞光电科技有限公司申请人地址
浙江省嘉兴市海宁市尖山新区仙侠路116号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江德西瑞新能源科技有限公司当前权利人浙江德西瑞新能源科技有限公司
发明人陈建平
代理机构嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙)代理人蔡鼎
摘要
本实用新型提供了一种硅片清洗机的热吹风烘干装置,属于机械技术领域。它解决了现有硅片清洗机的热吹风烘干装置效果并不理想,加热速度慢,过程繁琐,结构复杂且不易维修等技术问题。本硅片清洗机的热吹风烘干装置,硅片清洗机包括机架,在机架上固定有存放硅片的存放箱,存放箱具有热风进口,本热吹风烘干装置包括底座,在底座上固定有烘干箱,烘干箱包括内箱和设置在内箱外的外箱,内箱和外箱之间具有空腔。本实用新型具有结构简单,重量较轻,实用性强,热风效果更好的作用。

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