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控制装置以及控制方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200980109564.6
  • IPC分类号:H01L21/68;H01L21/027
  • 申请日期:
    2009-03-02
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称控制装置以及控制方法
申请号CN200980109564.6申请日期2009-03-02
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2011-02-16公开/公告号CN101978488A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人大胁良介
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人柳春雷;南霆
摘要
包括存储单元,存储表示从处理基板的多个处理单元中选择的一个基准处理单元和其他非基准处理单元的相对位置的第一信息;第一计算单元,计算用于修正位置偏移的第一修正值,所述位置偏移是当在被将基板运送到各个处理单元的运送装置中保持模仿所述基板的样板的状态下驱动该运送装置、运送装置的样板针对基准处理单元的交接位置和预定的第一交接目标位置之间的位置偏移;以及第二计算单元,基于第一修正值和第一位置信息,计算用于修正运送装置的样板针对非基准处理单元的交接位置和预定的第二交接目标位置之间的位置偏移的第二修正值。

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