一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机

1.一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘(4)，主轴(10)， 机座(8)，所述机座(8)安装在主轴(10)上，工件(3)的被加工面平置于 研磨盘(4)上表面，研磨盘(4)放置在研磨盘支撑板(5)上，研磨盘支撑板 (5)连接主轴(10)并在主轴(10)的带动下围绕主轴轴线旋转，夹具(2) 夹持工件(3)，压头(1)压住夹具(2)；其特征在于：所述的平面研磨机有研 磨盘冷却机构，该研磨盘冷却机构包括：上述的一研磨盘支撑板(5)，一循环 盘(7)，密封圈(6)，接头(9)、水嘴(L1～L4)；循环盘(7)固联于机座(8) 的上凸台表面，研磨盘支撑板(5)与循环盘(7)固联，接头(9)固联于机座 (8)的下部凸台之上，上述两两联接件间均置有密封圈；水嘴(L1～L4)的一端 分别与接头(9)相连接。
2.根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于：上述研磨盘支撑板(5) 下表面开有贯通的沟槽(5X)。
3.根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于：上述循环盘(7)下端面 开有一大环形槽(7a)，大环形槽(7a)的下面又开有一小环形槽(7b)，循环盘 圆柱面上钻有一盲孔(7c)，其上端面还分别钻有一通孔(7d)和一盲孔(7e)，其中 该通孔(7d)底部与大环形槽(7a)贯通，上端面钻有的盲孔(7e)与圆柱面上钻有 的盲孔(7c)相贯通。
4.根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于：上述机座(8)上凸台端 面开有四通孔(H1～H4)，并开有一环型槽(8a)，其中两通孔(H1、H4)与该环型 槽(8a)相贯通，另两通孔(H2、H3)与循环盘(7)下端面开有的小环形槽(7b)贯 通。
5.根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于：上述水嘴(L1～L4)另一 端分别连接冷却液管道。
6.根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于：上述研磨盘支撑板(5) 下表面开有同心圆环状的沟槽(5a～5f)，各沟槽由一矩状沟槽(5g)相贯通。
7.根据权利要求1所述的平面研磨机，其特征在于：上述研磨盘支撑板(5) 下表面开有放射状的沟槽(5A～5H)，各沟槽以大小两个同心环状沟槽(5I、5J) 相贯通。

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