光栅波导多微流道芯片的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010053995.3
IPC分类号：B01L3/00;G01N21/64
申请日期：
2020-01-17
申请人：
上海新微技术研发中心有限公司

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著录项信息

专利名称	光栅波导多微流道芯片的制造方法
申请号	CN202010053995.3	申请日期	2020-01-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-05	公开/公告号	CN111229341A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01L3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01L 通用化学或物理实验室设备（医用或药用设备入A61；工业用设备或者结构和性能与类似的工业用设备相类似的实验室设备，见相应的工业设备各类，特别是B01和C12的小类；分离和蒸馏设备入B01D；混合或搅拌装置入B01F；雾化器入B05B；筛子入B07B；栓、塞入B65D；一般液体贮运入B67；真空泵入F04；虹吸管入F04F 10/00；龙头，阻塞栓入F16K；管、管接头入F16L；专门适用于材料研究与分析的设备入G01，尤其入G01N；电气或光学设备见G部和H部的有关各类） B01L3/00 实验室用的容器或器皿，如实验室玻璃仪器（瓶子入B65D；酶或微生物学用的设备入C12M 1/00）；点滴器（量体积的容器入G01F）	IPC分类号	B;0;1;L;3;/;0;0;;;G;0;1;N;2;1;/;6;4查看分类表>
申请人	上海新微技术研发中心有限公司	申请人地址	上海市嘉定区城北路235号1号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海新微技术研发中心有限公司	当前权利人	上海新微技术研发中心有限公司
发明人	陈昌;刘博;豆传国
代理机构	苏州国卓知识产权代理有限公司	代理人	黄少波

摘要

本发明提供一种光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，形成牺牲层，形成下包层；形成波导层；形成光栅波导组，包括光栅波导；光栅波导包括出射光栅；在波导层上形成二氧化硅保护层，用于覆盖保护出射光栅；形成上包层；形成第一数量的微流道，以形成微流体组；微流道贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；去除牺牲层。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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