微机电压力传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN200710076041.9
IPC分类号：G01L1/18;G01L9/06;B81B7/02
申请日期：
2007-07-13
申请人：
清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微机电压力传感器
申请号	CN200710076041.9	申请日期	2007-07-13
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-01-14	公开/公告号	CN101344447
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/18 利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;8;;;G;0;1;L;9;/;0;6;;;B;8;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司	申请人地址	北京市海淀区清华大学清华－富士康纳米科技研究中心401室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学,鸿富锦精密工业（深圳）有限公司	当前权利人	清华大学,鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
发明人	乔东海;姚湲;姜开利;刘亮
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种微机电压力传感器，其包括一个基底、一个介质隔离层、至少两个电极及一个振动膜。该基底具有一个声腔。该介质隔离层形成在该基底上，该介质隔离层具有与该声腔相通的通孔。该至少两个电极分别形成在介质隔离层上。该振动膜覆盖介质隔离层的通孔。其中，该振动膜包括至少一个碳纳米管结构，该碳纳米管结构的两端分别与该两个电极电连接。所述的微机电压力传感器，通过振动膜内嵌碳纳米管，以增加振动膜的顺度，从而可提高微机电压力传感器的灵敏度。

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