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一种复合式压电变形镜及其制作方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201810734454.X
  • IPC分类号:G02B26/08
  • 申请日期:
    2018-07-06
  • 申请人:
    中国科学技术大学
著录项信息
专利名称一种复合式压电变形镜及其制作方法
申请号CN201810734454.X申请日期2018-07-06
法律状态驳回申报国家暂无
公开/公告日2018-10-09公开/公告号CN108627973A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人中国科学技术大学申请人地址
安徽省合肥市包河区金寨路96号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学技术大学当前权利人中国科学技术大学
发明人褚家如;陈俊杰;李保庆
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人王宝筠
摘要
本发明提供了一种复合式压电变形镜及其制作方法,单压电变形镜包括反射层、镜面层、第一电极层、单压电片层和第二电极层,第二电极层包括多个第二电极,一个第二电极与第一电极构成一个第一驱动器;驱动阵列包括安装在基座上的调节机构和多个第二驱动器;第二驱动器安装在调节机构内,第二驱动器通过位于第二驱动器顶部的支撑结构与单压电变形镜连接;当向第一驱动器施加电压时,单压电片层形变并带动镜面层形变;当向第二驱动器施加电压时,第二驱动器通过支撑结构带动单压电变形镜形变;支撑结构提高了单压电变形镜的结构刚度,从而提高了压电变形镜的固有谐振频率,克服了第一驱动器数目增大(有效口径增大)导致谐振频率或带宽下降的问题。

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