加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种RT探测器及其应用

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110355711.0
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/66
  • 申请日期:
    2021-04-01
  • 申请人:
    中山德华芯片技术有限公司
著录项信息
专利名称一种RT探测器及其应用
申请号CN202110355711.0申请日期2021-04-01
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-04-30公开/公告号CN112735993A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人中山德华芯片技术有限公司申请人地址
广东省中山市火炬开发区火炬路22号之二第3-4层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中山德华芯片技术有限公司当前权利人中山德华芯片技术有限公司
发明人刘雪珍;张小宾;高熙隆;刘建庆;杨文奕
代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司代理人伍传松
摘要
本发明公开了一种RT探测器及其应用,包含若干个子探测器,每个所述子探测器用以观察至少一个外设外延片;若干个所述子探测器的分布方式为阵列式分布;每个所述子探测器各包含一个光源和若干个子接收器;所述光源用于发出入射光;所述子接收器用于接收由外延片形成的光信号,并对所接收的光信号进行光电转换以获得电信号;本发明温度监控对象明确且唯一,同时采用反射率曲线方式进行了温度监控;实现了生长全过程的RT曲线有效监控,进而实现了外延片组分和均匀性生长控制。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供