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一种晶片及其处理方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201811367666.5
  • IPC分类号:H01L21/22;H01L21/66;H01L29/36
  • 申请日期:
    2018-11-16
  • 申请人:
    长江存储科技有限责任公司
著录项信息
专利名称一种晶片及其处理方法
申请号CN201811367666.5申请日期2018-11-16
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2019-03-15公开/公告号CN109473342A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/22IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;L;2;9;/;3;6查看分类表>
申请人长江存储科技有限责任公司申请人地址
湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长江存储科技有限责任公司当前权利人长江存储科技有限责任公司
发明人程纪伟;罗世金;孙中旺;张坤;鲍琨;胡明;夏志良
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人赵秀芹;王宝筠
摘要
本申请提供了一种晶片及其处理方法。在方法可以根据晶片至少两个不同方向上的第一翘曲度差异,对晶片表面的至少部分区域进行掺杂,从而缩小晶片不同方向上的应力差,使得晶片内部不同区域的应力分布大致均匀,从而使得晶片不同方向的翘曲度差异满足预设要求。因此,本申请可以通过对晶片表面进行掺杂的方式改善晶片不同区域的应力分布,而且,由于掺杂的具体工艺条件是根据晶片至少两个方向上的翘曲度差异来确定的,所以,该方法能够缩小晶片不同方向上的应力差,进而改善不同晶片不同方向上的翘曲度差异,从而使得晶片不同方向的翘曲度差异满足预设要求,进而使晶片表面变得平整。

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