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用于测试硅片臭氧氧化层亲水性的组合装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201621124806.2
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2016-10-14
  • 申请人:
    尚德太阳能电力有限公司
著录项信息
专利名称用于测试硅片臭氧氧化层亲水性的组合装置
申请号CN201621124806.2申请日期2016-10-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人尚德太阳能电力有限公司申请人地址
上海市闵行区浦江镇立跃路1888号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人尚德太阳能电力有限公司当前权利人尚德太阳能电力有限公司
发明人郭威;王斌;何悦;胡克喜;任勇;李志刚;王在发
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人王洁;郑暄
摘要
本实用新型涉及一种用于测试硅片臭氧氧化层亲水性的组合装置,所述的组合装置包括:载片装置,所述的载片装置包括支撑硅片的支撑面及稳固硅片的抵挡条,所述的支撑面的底边与所述的抵挡条相平行,使硅片以30度的角度斜靠在所述的支撑面的顶边与所述的抵挡条之间,取水装置,所述的取水装置为20μL的移液枪。采用了该实用新型中的组合装置,利用去离子水滴落在硅片上的表现形式不一致来区分二氧化硅是否覆盖良好,载片装置使硅片以30度的角度倾斜,方便于测试人员测试,移液枪取出分量固定为20μL,取水过多则即使在覆盖不良的状态下,等离子水也能往下流动,取水过少则无法流到硅片底部,从而影响对结果的判断。

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