加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

用于管理光刻镜上的光化光强瞬态变化的方法和设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03142575.5
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00;G02B5/08;H01L21/027
  • 申请日期:
    2003-06-13
  • 申请人:
    ASML控股股份有限公司
著录项信息
专利名称用于管理光刻镜上的光化光强瞬态变化的方法和设备
申请号CN03142575.5申请日期2003-06-13
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-05-12公开/公告号CN1495529
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;2;B;5;/;0;8;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人ASML控股股份有限公司申请人地址
荷兰费尔德霍芬 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ASML控股股份有限公司当前权利人ASML控股股份有限公司
发明人圣地亚哥·德尔·皮尤奥托
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人冯赓宣
摘要
一种用于使光刻反射镜保持时间恒定热负载的设备和方法。该反射镜包括:成型在基底上的电阻层、用于将电源连接到电阻层的接点、成型在电阻层上的绝缘子层、成型在绝缘子层上的抛光层以及成型在抛光层上的反射层。通过根据掩膜发出的光化热负载,对该反射镜施加附加电热负载,使光刻反射镜保持时间恒定热负载。保持时间恒定热负载可以减小或者消除因为光刻反射镜上的光化热负载的变化引起的图像失真的变化。可以利用单独温度控制降低“冷边缘效应”。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供