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钝化方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202080019215.1
  • IPC分类号:C09K11/08;H01L51/50
  • 申请日期:
    2020-03-06
  • 申请人:
    牛津大学创新有限公司
著录项信息
专利名称钝化方法
申请号CN202080019215.1申请日期2020-03-06
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-10-29公开/公告号CN113574137A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C09K11/08IPC分类号C;0;9;K;1;1;/;0;8;;;H;0;1;L;5;1;/;5;0查看分类表>
申请人牛津大学创新有限公司申请人地址
英国牛津 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人牛津大学创新有限公司当前权利人牛津大学创新有限公司
发明人J·S·W·戈丁;B·温格;H·J·斯奈思
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人李艳;臧建明
摘要
本发明提供了一种用于生产钝化的半导体的工艺,所述工艺包括用钝化剂处理半导体,其中:半导体包括结晶化合物,所述结晶化合物包括:(i)一种或多种第一阳离子(A);(ii)一种或多种金属阳离子(M);以及(iii)一种或多种阴离子(X);并且钝化剂包括包含氧‑氧单键的化合物。还提供了钝化剂的组合物以及用途。

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