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缺陷检测装置、方法及发光信号的获得方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110275757.1
  • IPC分类号:G01N21/88;G01N21/63
  • 申请日期:
    2021-03-15
  • 申请人:
    浙江大学
著录项信息
专利名称缺陷检测装置、方法及发光信号的获得方法
申请号CN202110275757.1申请日期2021-03-15
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-07-23公开/公告号CN113155843A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/88IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;1;/;6;3查看分类表>
申请人浙江大学申请人地址
浙江省杭州市西湖区浙大路38号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江大学当前权利人浙江大学
发明人兰东辰;狄大卫;连亚霄
代理机构上海智力专利商标事务所(普通合伙)代理人吕玲玉
摘要
本发明涉及缺陷检测装置,涉及缺陷检测技术,包括:激发装置,用于向被检测结构施加不同激发源,而使被检测结构在不同激发源下产生不同的发光信号;接受装置,用于获得被检测结构产生的发光信号;以及计算单元,接收接受装置输出的发光信号,并根据被检测结构在不同激发源下产生的不同的发光信号计算获得被检测结构的某一层的发光信号,而为被检测结构的优化指明方向,且快速、无损。

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