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一种在石英表面喷涂特氟龙的圆片架

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821628701.X
  • IPC分类号:B05B13/02
  • 申请日期:
    2018-10-09
  • 申请人:
    无锡亚电智能装备有限公司
著录项信息
专利名称一种在石英表面喷涂特氟龙的圆片架
申请号CN201821628701.X申请日期2018-10-09
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B05B13/02IPC分类号B;0;5;B;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人无锡亚电智能装备有限公司申请人地址
江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园30号楼(C3)125-128、227、229、231-238室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡亚电智能装备有限公司当前权利人无锡亚电智能装备有限公司
发明人钱诚;李刚;杨洋
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种在石英表面喷涂特氟龙的圆片架,它包括前面板、后面板、支撑板和固定板,前、后面板与两侧支撑板之间烧焊连接,两侧支撑板的底部中间横向连接有连接杆,连接杆、前面板、后面板的上端面均匀设置有多个供放置圆片的卡槽,两侧支撑板的上端与横向设置的固定板连接,固定板用于固定在清洗定位槽两侧,圆片架的材质为石英材质,在石英材质的圆片架的表面喷涂有特氟龙涂层。在石英材质的圆片架上喷涂特氟龙,有以下效果:圆片架使用寿命更长,提高了设备利用效率;由于不被腐蚀,使用过程中圆片放置无偏差,设备运行的故障率降低。

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