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真空溅镀的防着板结构

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020598041.2
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2010-11-09
  • 申请人:
    宁波江丰电子材料有限公司
著录项信息
专利名称真空溅镀的防着板结构
申请号CN201020598041.2申请日期2010-11-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人宁波江丰电子材料有限公司申请人地址
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波江丰电子材料股份有限公司当前权利人宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人姚力军;潘杰;王学泽;陈玉蓉
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人骆苏华
摘要
一种真空溅镀的防着板结构,所述防着板设于溅镀机内,所述防着板表面具有凹凸不平的结构。较佳地,所述凹凸不平的结构包括所述防着板表面的多个凸台,各所述凸台间存在间隙;所述凸台呈网格状排列于所述防着板表面。由于在所述防着板表面具有凹凸不平的结构,使得防着板更加容易吸附靶材原子或大尺寸的颗粒,从而一方面增加了防着板的沉淀能力,提高溅镀机内壁清洁度;另一方面由于减少了大尺寸颗粒飞向基片,也提高了溅镀的成膜率。

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