一种高温声表面波传感器的叉指电极材料及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610945148.1
IPC分类号：G01K11/26;G01K1/00
申请日期：
2016-11-02
申请人：
清华大学

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专利名称	一种高温声表面波传感器的叉指电极材料及其制备方法
申请号	CN201610945148.1	申请日期	2016-11-02
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-01-18	公开/公告号	CN106338347A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01K11/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01K 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件（辐射高温测定法入G01J 5/00） G01K11/00 不包括在G01K 3/00，G01K 5/00，G01K 7/00或G01K 9/00各组的以物理或化学变化为基础的温度测量 G01K11/22 利用测量声学效应的 G01K11/26 共振频率的	IPC分类号	G;0;1;K;1;1;/;2;6;;;G;0;1;K;1;/;0;0查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区北京市信箱82分箱清华大学专利办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	曾飞;傅肃磊;李起;潘峰;王光月
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	关畅;王春霞

摘要

本发明公开了一种高温声表面波传感器的叉指电极材料及其制备方法。所述叉指电极材料包括衬底和依次沉积在所述衬底上的Ta缓冲层和Ir‑Mo合金薄膜；所述Ir‑Mo合金薄膜中，Mo的原子数百分含量为5～10％。本发明制备得到的叉指电极材料的电导率达9.2×106S/m，可适用于声表面波器件中。所述声表面波器件可为高温声表面波器件，器件中心频率1.42GHz，在1000℃环境下退火72小时后，器件性能稳定。本发明叉指电极材料的制备工艺简单，方法先进、科学，能使高温声表面波传感器在更高温度下使用并且有效增加其温度耐受性，使声表面波温度传感器可以应用于一些航天航空、机械冶金高温环境下，其器件具有耐温度高、工作寿命长的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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