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用于检查工件表面和带材料的装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480052032.4
  • IPC分类号:G01N21/89
  • 申请日期:
    2014-07-22
  • 申请人:
    ZS-处理有限责任公司
著录项信息
专利名称用于检查工件表面和带材料的装置
申请号CN201480052032.4申请日期2014-07-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-09-21公开/公告号CN105960589A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/89IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;8;9查看分类表>
申请人ZS-处理有限责任公司申请人地址
德国累根斯堡 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ZS-处理有限责任公司当前权利人ZS-处理有限责任公司
发明人M.希尔普;J.齐默曼;A.齐茨曼
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人杨国治;张昱
摘要
本发明涉及用于检查工件表面的装置,具有以下的特征:设置了传感器(7),所述传感器被构造用于检查工件表面,具有声波辐射面的超声震荡器(8a、8b),所述超声震荡器刚性地与所述传感器(7)连接,用以构造传感器单元(5),以及与所述传感器单元(5)耦联的可运动的定位装置(6),用于将所述传感器单元(5)定位在与所述工件表面的对置位置中,其中,所述定位装置(6)具有挤压机构,所述挤压机构朝着工件表面的方向挤压所述传感器单元(5),所述超声震荡器(8a、8b)的声波辐射面实施超声波振动,使得在气体状的介质存在的条件下在所述工件表面和所述声波辐射面之间作用有超声波悬浮力场,所述超声波悬浮力场生成反向于所述挤压力指向的反力,由此所述传感器单元(5)与所述工件表面间隔地保持悬着,其中,所述传感器被构造,用以检测不同的物理的效果,如例如表面结构偏差或者颜色偏差。

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