微机电谐振结构、谐振器及压力传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201710982712.1
IPC分类号：G01L1/10;H03H9/02;H03H9/24
申请日期：
2017-10-19
申请人：
机械工业仪器仪表综合技术经济研究所

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专利名称	微机电谐振结构、谐振器及压力传感器
申请号	CN201710982712.1	申请日期	2017-10-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-02-02	公开/公告号	CN107655595A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/10 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/10 通过测量受应力的振动元件的频率变化，例如，受应力的带的（应用电阻应变仪的入G01L 1/22）	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;0;;;H;0;3;H;9;/;0;2;;;H;0;3;H;9;/;2;4查看分类表>
申请人	机械工业仪器仪表综合技术经济研究所	申请人地址	北京市西城区广安门外大街甲397号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	机械工业仪器仪表综合技术经济研究所	当前权利人	机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
发明人	杜晓辉;王洲;闫晓风;刘丹;王麟琨;石镇山
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	曹玲柱

摘要

本公开提供了一种微机电谐振结构、谐振器及压力传感器。该谐振结构包括：环形谐振主梁；环形谐振辅梁，设置于环形谐振主梁的外侧；2N个第一连接块，匀设于环形谐振主梁和环形谐振辅梁之间的环形空间内，对于每一个第一连接块，其内侧刚性连接至环形谐振主梁；2N个第一调频块，匀设于环形谐振主梁和环形谐振辅梁之间的环形空间内，每一个第一调频块设置于两个第一连接块之间，其内侧和外侧分别刚性连接至环形谐振主梁和环形谐振辅梁；N为正整数，2N个第一连接块和2N个第一调频块关于环形谐振主梁和环形谐振辅梁共同的轴对称。本公开中，谐振结构的振动为动平衡状态且完全耦合。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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