包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物

一种包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物。根据本发明的一个实施例的光刻胶用树脂合成物，包括：100个重量单位的以下列化学式3表示的共聚物；0.5到15个重量单位的光酸发生剂；和700到1500个重量单位的溶剂。[化学式3]在该化学式中，R1、R2和R3分别相互独立地表示包括或不包括氢基、醚基(ethergroup)、酯基(estergroup)、羰基(carbonylgroup)、缩醛基(acetalgroup)、环氧基(epoxygroup)、腈基(nitrilegroup)、醛基(aldehydegroup)的C1-30的烷基(alkylgroup)或C3-30的环烷基(cycloalkylgroup)，R4、R5和R5分别相互独立地表示氢基或甲基(methylgroup)，l、m、n和o作为分别表示主锁内重复单位的数目，具有l+m+n+o＝l、0≤l/(l+m+n+o)＜0.4、0＜m/(l+m+n+o)＜0.6、0≤n/(l+m+n+o)＜0.6和0＜o/(l+m+n+o)＜0.4的值。