一种基于太赫兹光谱技术测量石墨烯薄膜电导的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510855575.6
IPC分类号：G01N21/3586
申请日期：
2015-11-30
申请人：
中国科学院重庆绿色智能技术研究院

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专利名称	一种基于太赫兹光谱技术测量石墨烯薄膜电导的方法
申请号	CN201510855575.6	申请日期	2015-11-30
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-04-27	公开/公告号	CN105527243A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/3586 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/25 颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响〔3〕 G01N21/31 测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应，例如原子吸收光谱术〔3〕 G01N21/35 利用红外光（G01N 21/39优先）〔3，2014.01〕 G01N21/3581 利用远红外光；利用太赫兹辐射〔2014.01〕 G01N21/3586 通过太赫兹时域光谱学〔THz-TDS〕〔2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;3;5;8;6查看分类表>
申请人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	申请人地址	重庆市北碚区方正大道266号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	当前权利人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
发明人	颜识涵;魏东山;施长城;李占成;史浩飞;杜春雷;崔洪亮
代理机构	北京同恒源知识产权代理有限公司	代理人	廖曦

摘要

本发明涉及一种基于太赫兹光谱技术测量石墨烯薄膜电导的方法，属于太赫兹光谱检测技术应用领域。该方法包括以下步骤：S1：调节获得适应于测量薄膜的太赫兹时域光谱系统光路；S2：测量获取基底材料的太赫兹时域波谱信号；S3：测量获取转移石墨烯薄膜后基底材料的太赫兹时域波谱信号；S4：根据步骤S2和S3采集的信号，利用公式计算太赫兹波段石墨烯电导；S5：建立通过太赫兹光谱技术获得的电导与采用传统的四探针方法获得的电导之间标准关系曲线，获得关联因子；根据关联因子，获得在可见光波段石墨烯电导。该方法适合对转移到半导体或高分子基底上的石墨烯进行检测，同时也适合推广到其他半导体薄膜电导的检测。

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