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于高温退火后保持高矫顽力的具有垂直磁各向异性的磁性组件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680063801.X
  • IPC分类号:H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12;H01L43/02
  • 申请日期:
    2016-09-07
  • 申请人:
    海德威科技公司
著录项信息
专利名称于高温退火后保持高矫顽力的具有垂直磁各向异性的磁性组件
申请号CN201680063801.X申请日期2016-09-07
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2018-07-31公开/公告号CN108352447A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L43/08IPC分类号H;0;1;L;4;3;/;0;8;;;H;0;1;L;4;3;/;1;0;;;H;0;1;L;4;3;/;1;2;;;H;0;1;L;4;3;/;0;2查看分类表>
申请人海德威科技公司申请人地址
美国加利福尼亚州密尔必达市南山景道678号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人海德威科技公司当前权利人海德威科技公司
发明人刘焕龙;李元仁;朱健;诺真·杰;童露丝;路克·汤马斯
代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司代理人孙皓晨;马鑫
摘要
一种磁性穿隧接面(MTJ),其中自由层具有与穿隧阻障层所形成的一个界面和与金属氧化物层所形成的第二界面,以促进其垂直磁各向异性(PMA)。一扩散阻障层形成在金属氧化物层与第二界面相对的一侧上,以防止硬罩幕或电极中的非磁性金属迁移到第二界面,并降低自由层的PMA。另一扩散阻障层可以形成在第二电极和参考层之间。扩散阻障层可以是SiN、TiN、TaN、Mo或CoFeX的单层,其中X是Zr、P、B或Ta,或者是如CoFeX/Mo的多层,其中CoFeX接触金属氧化物层,且Mo邻接硬罩幕。因此,在400℃30分钟的退火后,可以保持或增加MTJ中的矫顽力。

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