循环系统及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201010584010.6
IPC分类号：B24B57/00
申请日期：
2010-12-10
申请人：
亚泰半导体设备股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	循环系统及方法
申请号	CN201010584010.6	申请日期	2010-12-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-30	公开/公告号	CN102476355A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B57/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B57/00 磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备（用于磨料喷射入B24C 1/00，B24C 7/00）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;5;7;/;0;0查看分类表>
申请人	亚泰半导体设备股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹县湖口工业园区复兴路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	亚泰半导体设备股份有限公司	当前权利人	亚泰半导体设备股份有限公司
发明人	徐宏信
代理机构	北京市兰台律师事务所	代理人	张峰

摘要

本发明公开一种循环系统及方法，此循环系统由第一循环回路连接压力容器的出口、帮浦及阀体组，且阀体组连接压力容器的入口，使粒子溶液由循环帮浦循环流动于第一循环回路、阀体组与压力容器之间，以达到对压力容器中的粒子溶液进行搅拌的目的，并由第二循环回路连接压力容器的出口、多个第一磁浮帮浦、第二磁浮帮浦及阀体组、用以将粒子溶液输送到工具机，并由第二磁浮帮浦于第二循环回路末端将粒子溶液经过阀体组输送到压力容器的入口，以完成循环输送粒子溶液的目的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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