一种降低超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911126025.5
IPC分类号：H03H9/54
申请日期：
2019-11-18
申请人：
武汉大学

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专利名称	一种降低超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的方法
申请号	CN201911126025.5	申请日期	2019-11-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-03-17	公开/公告号	CN110890872A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/54 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/46 滤波器（多端对机电滤波器入H03H 9/70）〔3〕 H03H9/54 包含由压电或电致伸缩材料构成的谐振器（H03H 9/64优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;5;4查看分类表>
申请人	武汉大学	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城3期D7栋4层01号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉敏声新技术有限公司	当前权利人	武汉敏声新技术有限公司
发明人	孙成亮;童欣;刘婕妤;周杰;谢英;邹杨
代理机构	武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	许莲英

摘要

本发明公开了一种降低超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的方法，该方法是在叉指电极和压电层中间沉积一层中间介质层，形成叉指电极、中间介质层、压电层的三层结构；将叉指电极中相邻的电极指加极性相反的电压，在压电层产生感应电荷，产生逆压电效应；中间介质层在叉指电极上的电压和压电层的共同的作用下，在其与电极接触的表面聚集感应电荷；通过调节中间介质层的厚度或者介电常数调节谐振器的机电耦合系数，其中介电常数的改变可通过选择不同介电常数的材料来实现。本发明降低超高频谐振器的有效机电耦合系数，使该种谐振器应用在窄带滤波器成为可能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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