搬运装置、搬运方法以及搬运系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110549804.7
IPC分类号：B25J11/00;B25J9/00;B25J9/16;C23C16/54
申请日期：
2021-05-20
申请人：
株式会社安川电机

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法律信息

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著录项信息

专利名称	搬运装置、搬运方法以及搬运系统
申请号	CN202110549804.7	申请日期	2021-05-20
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-30	公开/公告号	CN113715033A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J11/00 不包含在其他组的机械手	IPC分类号	B;2;5;J;1;1;/;0;0;;;B;2;5;J;9;/;0;0;;;B;2;5;J;9;/;1;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人	株式会社安川电机	申请人地址	日本福冈县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社安川电机	当前权利人	株式会社安川电机
发明人	小宫路修
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	徐丹;邓毅

摘要

本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。

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