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一种多晶硅还原炉的温度控制系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202222424206.X
IPC分类号：C01B33/03
申请日期：
2022-09-13
申请人：
新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种多晶硅还原炉的温度控制系统
申请号	CN202222424206.X	申请日期	2022-09-13
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/03 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/02 硅（形成单晶或有一定结构的均匀多晶材料入C30B）〔5〕 C01B33/021 制备（由气相的化学涂层入C23C 16/00）〔5〕 C01B33/027 使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原〔5〕 C01B33/03 使用卤化硅或卤化硅烷的分解，或其以氢作为惟一的还原剂的还原〔5〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;0;3查看分类表>
申请人	新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司	申请人地址	新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区（工业园）众欣街2249号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	新特能源股份有限公司,新特硅基新材料有限公司	当前权利人	新特能源股份有限公司,新特硅基新材料有限公司
发明人	张兆东;张霞飞;刘兴平;王文
代理机构	北京银龙知识产权代理有限公司	代理人	刘伟

摘要

本实用新型提供一种多晶硅还原炉的温度控制系统，该系统包括原料输送系统、三通分流阀、尾气换热器、还原炉，所述原料输送系统与所述三通分流阀的入口连通，所述三通分流阀的第一出口与所述尾气换热器的入口连通，所述尾气换热器的管程出口和所述三通分流阀的第二出口均与所述还原炉的入口连通，所述还原炉的出口与所述尾气换热器的壳程连通。

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