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堆叠型电容器的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310739919.8
IPC分类号：H01L21/02
申请日期：
2013-12-24
申请人：
华亚科技股份有限公司

基础信息

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	堆叠型电容器的制造方法
申请号	CN201310739919.8	申请日期	2013-12-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-06-17	公开/公告号	CN104716019A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	华亚科技股份有限公司	申请人地址	美国爱达荷州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	美光科技公司	当前权利人	美光科技公司
发明人	洪海涵;林奕忍
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	宋献涛

摘要

本发明披露一种堆叠型电容器的制造方法，其特点是在完全移除牺牲层的步骤之前，先形成一下电极以及位于该下电极的外侧表面的上电极，并且在完全移除牺牲层的步骤之后，再进一步形成该下电极的内侧表面的上电极。藉此，电容器的电极结构于所有工艺步骤中，均能维持相当优异的结构强度，达到提升良率的目的。

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