平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路及自测试方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610161273.3
IPC分类号：G01P15/125;G01P21/00
申请日期：
2016-03-21
申请人：
江苏物联网研究发展中心

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著录项信息

专利名称	平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路及自测试方法
申请号	CN201610161273.3	申请日期	2016-03-21
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-03	公开/公告号	CN105823907A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5;;;G;0;1;P;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏物联网研究发展中心	申请人地址	北京市海淀区上地四街1号25号楼9单元1层120室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科微知识产权服务有限公司	当前权利人	北京中科微知识产权服务有限公司
发明人	余丹;李佳
代理机构	无锡市大为专利商标事务所（普通合伙）	代理人	殷红梅;屠志力

摘要

本发明提供一种平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路，以及一种自测试方法，对平行板电容加速度计提供电激励，将电容传感模块输出的信号进行放大，模数转换和数字处理，根据不同条件下的自测试供电电压V1和V2以及电容传感模块的输出响应Vc分析其灵敏度S，从而实现对平行板电容型MEMS加速度计的工艺缺陷进行诊断并且对电容加速度计的灵敏度S进行内建自测试。优化了外部环境和寄生电容对输出信号的影响，提高测试的标准化程度、降低对复杂测试仪器的依赖度，从而有效降低其测试与产品成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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