基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201110456011.7
IPC分类号：G01B11/00;G01B11/12
申请日期：
2011-12-16
申请人：
哈尔滨工业大学

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著录项信息

专利名称	基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置
申请号	CN201110456011.7	申请日期	2011-12-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-11	公开/公告号	CN102564309A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;1;2查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	崔继文;杨福铃;李磊;李俊英;谭久彬
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成，该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动，并沿测量线方向移动工作台，获得探针相对于被测微孔的最大位移量，从而得出被测微孔直径，本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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