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埋入式垂直动态随机存储器单元及双工作功能逻辑门

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN01819731.0
  • IPC分类号:H01L21/8242
  • 申请日期:
    2001-11-28
  • 申请人:
    因芬尼昂技术北美公司;国际商业机器公司
著录项信息
专利名称埋入式垂直动态随机存储器单元及双工作功能逻辑门
申请号CN01819731.0申请日期2001-11-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2005-07-13公开/公告号CN1639860
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8242
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;2查看分类表>
申请人因芬尼昂技术北美公司;国际商业机器公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人因芬尼昂技术北美公司,国际商业机器公司当前权利人因芬尼昂技术北美公司,国际商业机器公司
发明人U·格伦林;R·迪瓦卡鲁尼;J·曼德曼;T·鲁普
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人张志醒
摘要
本发明涉及埋入式垂直动态随机存储器单元及双工作功能逻辑门。一种产生极高密度埋入式DRAM/极高性能逻辑结构的工艺,包括制造具有自我对准硅化的源极/漏极的垂直MOSFET DRAM单元以及支撑中的栅极导体双工作功能MOSFETs。

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