一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02130716.4
IPC分类号：--
申请日期：
2002-09-18
申请人：
清华大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置
申请号	CN02130716.4	申请日期	2002-09-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-03-19	公开/公告号	CN1403783
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市－82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	曾理江;王浩;殷纯永
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置，涉及一种非球面光学元件的检测技术。本发明基于光线追迹原理，将激光以点阵结构光形式入射到被测非球面镜上，通过CCD摄像机分别测量一簇入射光光点和反射光光点在光接收屏上的位置，并利用计算机对入射光斑及反射光斑图像的分析处理，直接计算得到非球面镜顶点曲率半径。其原理、结构简单，易于实现，成本低，尤其对于顶点曲率半径较大的非球面镜的检测有较高的测量精度。本发明不仅可以用于测量非球面镜顶点曲率半径，而且可以实现非球面镜加工的在线测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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