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在多模式脉冲处理中检测处理点的系统和方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510683129.1
  • IPC分类号:H01L21/66;H01J37/32
  • 申请日期:
    2015-10-20
  • 申请人:
    朗姆研究公司
著录项信息
专利名称在多模式脉冲处理中检测处理点的系统和方法
申请号CN201510683129.1申请日期2015-10-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-06-15公开/公告号CN105679688A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人朗姆研究公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朗姆研究公司当前权利人朗姆研究公司
发明人亚辛·卡布兹;豪尔赫·卢克;安德鲁·D·贝利三世;穆罕默德·德里亚·特蒂克;拉姆库马尔·苏布拉马尼安;山口阳子
代理机构上海胜康律师事务所代理人樊英如;李献忠
摘要
本发明涉及在多模式脉冲处理中检测处理点的系统和方法。一种识别在多模式脉冲处理中选择的处理点的系统和方法,其包含向等离子体处理室中选择的晶片施加多模式脉冲处理,所述多模式脉冲处理包含多个周期,这些周期中的每一个至少包含多个不同阶段中的一个。在对选择的晶片的多个周期期间,对于选择的至少一个阶段收集至少一个处理输出变量。收集的至少一个处理输出变量的包络和/或模板能够被用于识别选择的处理点。对于先前阶段的收集的处理输出变量的第一轨道能够与选择的阶段的处理输出变量的第二轨道比较。能够计算和使用第二轨道的多变量分析统计以识别选择的处理点。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供