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一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810208985.5
  • IPC分类号:C23C14/35;C23C14/54;C23C14/50;B82Y40/00
  • 申请日期:
    2018-03-14
  • 申请人:
    嘉兴岱源真空科技有限公司
著录项信息
专利名称一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备
申请号CN201810208985.5申请日期2018-03-14
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-06-22公开/公告号CN108193185A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0查看分类表>
申请人嘉兴岱源真空科技有限公司申请人地址
浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路11号518室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人嘉兴岱源真空科技有限公司当前权利人嘉兴岱源真空科技有限公司
发明人刘忠林;毕凯
代理机构北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)代理人姚海波
摘要
一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备,通过在转轴中设有内腔及外腔,在夹具中设有冷却通道,上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔,下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔,接头件与转轴转动连接,通过接头件进水,水流经夹具及转轴后经接头件排出,如此可冷却工件及夹具、提高工件质量及延长夹具的使用寿命。

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