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一种蓝宝石介电泳抛光机废液处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110765328.2
  • IPC分类号:B24B57/02;B24B29/02;B24B41/00
  • 申请日期:
    2021-07-06
  • 申请人:
    浙江工业大学;杭州科技职业技术学院
著录项信息
专利名称一种蓝宝石介电泳抛光机废液处理装置
申请号CN202110765328.2申请日期2021-07-06
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-10-01公开/公告号CN113458975A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B57/02IPC分类号B;2;4;B;5;7;/;0;2;;;B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;B;2;4;B;4;1;/;0;0查看分类表>
申请人浙江工业大学;杭州科技职业技术学院申请人地址
浙江省杭州市下城区潮王路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江工业大学,杭州科技职业技术学院当前权利人浙江工业大学,杭州科技职业技术学院
发明人张学良;袁巨龙;邓乾发;王旭;罗颖渊;王佳焕
代理机构北京祺和祺知识产权代理有限公司代理人陈翔
摘要
本发明公开了一种蓝宝石介电泳抛光机废液处理装置,包括下支架和可上下活动设置于下支架上的下抛光盘,下抛光盘通过下旋转轴外接驱动机构对下抛光盘进行驱动旋转,下部设置不随下抛光盘旋转的收集盘,收集盘在下抛光盘的外周边设置液体收集槽,液体收集槽在圆周方向均匀排列若干第一排液孔和第二排液孔,若干第一排液孔和第二排液孔在圆周方向上一一间隔设置,且相邻排液孔之间设置栅格板将液体收集槽内区域相间隔,第一排液孔下部连接循环液腔,该循环液腔内设置泵体,循环液腔的出口端连接循环液管,第二排液孔下部对外连接废液管。本发明将抛光液进行收集后进行循环使用以及排出,在保证抛光质量的同时,降低抛光成本和资源浪费。

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