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半导体装置及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710133208.4
  • IPC分类号:H01L23/31;H01L21/56
  • 申请日期:
    2017-03-08
  • 申请人:
    东芝存储器株式会社
著录项信息
专利名称半导体装置及其制造方法
申请号CN201710133208.4申请日期2017-03-08
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-04-03公开/公告号CN107871717A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/31IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;3;1;;;H;0;1;L;2;1;/;5;6查看分类表>
申请人东芝存储器株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东芝存储器株式会社当前权利人东芝存储器株式会社
发明人野村泰造
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人杨林勋
摘要
本发明的实施方式提供一种具有稳定的刻印的半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置包括包含配线的配线板、具有刻印的密封树脂、第1半导体元件、第1电极、导线、第1绝缘层、及第2绝缘层。第1半导体元件设置于配线板与密封树脂之间。第1电极设置于第1半导体元件的一部分与密封树脂的一部分之间。导线将配线与第1电极电连接。第1绝缘层的至少一部分在从配线板朝向密封树脂的第1方向上设置于导线的一部分与第1半导体元件之间。第1绝缘层具有第1厚度。第2绝缘层设置于第1半导体元件与密封树脂之间,且包含聚酰亚胺。第2绝缘层的至少一部分在第1方向上与刻印重叠,且具有比第1厚度厚的第2厚度。

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