颗粒物吸附装置及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510907518.8
IPC分类号：G01N5/02
申请日期：
2015-12-10
申请人：
中国电子科技集团公司信息科学研究院

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引证文献

著录项信息

专利名称	颗粒物吸附装置及其制备方法
申请号	CN201510907518.8	申请日期	2015-12-10
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-05-04	公开/公告号	CN105547901A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N5/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N5/00 用称量的方法分析材料，例如称量从气体或液体分离出的微粒（G01N 9/00优先） G01N5/02 利用物质吸收或吸附某些组分并测定吸附剂的重量变化，例如测定含水量	IPC分类号	G;0;1;N;5;/;0;2查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司信息科学研究院	申请人地址	北京市海淀区四道口北街36号院信息科学研究院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司信息科学研究院	当前权利人	中国电子科技集团公司信息科学研究院
发明人	王刚;汪志强;吕小微
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明实施例涉及一种颗粒物吸附装置及其制备方法，所述吸附装置包括微谐振器，所述微谐振器具有衬底基片，所述衬底基片的上表面溅射沉积有金属薄膜，所述金属薄膜的上表面具有凹陷的空洞。本发明实施例提出的颗粒物吸附装置，通过在金属薄膜的表面设置均匀密集分布的凹陷的空洞，可以有效的增大颗粒物与吸附装置之间的摩擦力，提高对颗粒物的吸附能力，同时凹陷的空洞有效的增大了吸附装置与颗粒物的接触面积，更多的吸附颗粒物。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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