一种微传感器、制备及其使用方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810480421.7
IPC分类号：G01N15/06
申请日期：
2018-05-18
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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著录项信息

专利名称	一种微传感器、制备及其使用方法
申请号	CN201810480421.7	申请日期	2018-05-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-27	公开/公告号	CN108896458A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N15/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N15/00 测试颗粒的特性；测试多孔材料的渗透性，孔隙体积或者孔隙表面积（微生物的识别入C12Q）〔1，4，2006.01〕 G01N15/06 测试悬浮颗粒的浓度（G01N 15/04，G01N 15/10优先；用称重法入G01N 5/00）〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;1;5;/;0;6查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	上海市长宁区长宁路865号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	当前权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人	李昕欣;包宇洋;于海涛;蔡晟然
代理机构	上海泰能知识产权代理事务所	代理人	宋缨

摘要

本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓度等环境信息；设备体积小，便于现场分析、适用范围广，能有效捕获待测气体中微米级及亚微米级杂质微粒。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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