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一种二维材料的图形化电极集成与表面钝化方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110365524.0
  • IPC分类号:H01L21/44;H01L21/34;H01L21/683
  • 申请日期:
    2021-04-06
  • 申请人:
    南京大学
著录项信息
专利名称一种二维材料的图形化电极集成与表面钝化方法
申请号CN202110365524.0申请日期2021-04-06
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-07-09公开/公告号CN113097074A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/44IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;4;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人南京大学申请人地址
江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京大学当前权利人南京大学
发明人黎松林;王安健
代理机构苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙)代理人周亮
摘要
本发明介绍了一种二维材料的图形化电极集成与表面钝化方法,其步骤分为:步骤1:在底部介质上制作图形化金属电极,并清理介质表面有机物残留;步骤2:用转移支撑层逐次粘附起顶部介质和目标二维材料,形成目标二维材料/顶部介质叠层结构;步骤3:叠层结构与电极对准后,高温加热软化支撑层中的聚合物薄膜,释放叠层结构至底部介质及电极上;步骤4:加热融化并溶解清洗顶部介质上的聚合物薄膜,完成器件制备。步骤2分为:将顶部介质由转移支架层表面释放至目标二维材料表面;然后用转移支撑层粘附起所述叠层结构。本发明提出“先电极后转移材料”的工艺步骤,避免了复杂的工艺步骤,同时实现了图形化电极集成与材料的表面钝化两个目的。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供