金属内连线的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN01140034.X
IPC分类号：--
申请日期：
2001-11-22
申请人：
旺宏电子股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	金属内连线的制造方法
申请号	CN01140034.X	申请日期	2001-11-22
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2003-06-04	公开/公告号	CN1421916
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	旺宏电子股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹科学工业园区力行路16号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	旺宏电子股份有限公司	当前权利人	旺宏电子股份有限公司
发明人	郑志贤
代理机构	北京集佳专利商标事务所	代理人	王学强

摘要

一种金属内连线的制造方法，此方法是在基底上形成一层介电层，并在介电层中形成一开口。然后，在基底上形成一层金属层以填满开口。接着，以电化学法在金属层的表面形成一保护层后，移除开口以外的保护层与金属层，以完成金属内连线工艺。由于保护层比金属层稳定，可防止金属层继续氧化，因此能够延长金属层沉积后至化学机械研磨前的等候时间(Queue time，Q－time)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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