一种基于光纤光栅的微深孔测量方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010517107.5
IPC分类号：G01B11/00;G01B9/00;C03B37/02
申请日期：
2010-10-24
申请人：
天津大学

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著录项信息

专利名称	一种基于光纤光栅的微深孔测量方法
申请号	CN201010517107.5	申请日期	2010-10-24
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-20	公开/公告号	CN102022980A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;9;/;0;0;;;C;0;3;B;3;7;/;0;2查看分类表>
申请人	天津大学	申请人地址	天津市南开区卫津路92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津大学	当前权利人	天津大学
发明人	张瑞峰;张忠娟;吕辰刚;李世忱
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	温国林

摘要

本发明公开了一种基于光纤光栅的微深孔测量方法，涉及可深入微小内腔体进行尺寸测量的领域，所述方法主要为通过光纤光栅反射谱中心波长的漂移量反映出触壁小球与待测微孔内壁的接触状况，再辅以控制电路、三坐标测量机来实现对待测微孔孔径的三维测量。本发明所提供的基于光纤光栅的微深孔测量方法具有损耗低、光谱特性好、无零点漂移问题和精度高重复性好的优点；扩大了测量范围；将空间中的接触情况转换为光学频谱的变化，克服了以往通过CCD光斑位移法在测量待测微孔时由于衍射损耗所造成的限制，不受光源功率波动、光纤微弯效应及耦合损耗等条件的影响；不对待测微深孔造成损伤，光纤探针的使用寿命长。

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