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一种多通道电阻测试系统及其测试方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811456931.7
  • IPC分类号:G01R27/08;G01R1/04
  • 申请日期:
    2018-11-30
  • 申请人:
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
著录项信息
专利名称一种多通道电阻测试系统及其测试方法
申请号CN201811456931.7申请日期2018-11-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-01-29公开/公告号CN109283395A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R27/08IPC分类号G;0;1;R;2;7;/;0;8;;;G;0;1;R;1;/;0;4查看分类表>
申请人中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请人地址
上海市长宁区长宁路865号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所当前权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人吕越;高波;伍文涛;王镇
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)代理人余明伟
摘要
本发明提供一种多通道电阻测试系统及其测试方法,所述系统包括:样品支撑结构,用于放置N个待测试样品,N个待测试样品依次串联并引出2N+2个引出端;多通道切换开关控制模块,包括N个正电压端控制开关及N个负电压端控制开关,用于根据测试选择信号控制对应开关闭合,以从N个待测试样品中选出一与测试选择信号对应的实际测试样品;电流源,用于为N个串联的待测试样品提供恒定电流;数据读取模块,用于读取实际测试样品两端的电压差值;主控模块,用于向各开关发送所述测试选择信号。通过本发明解决了采用现有测试方法进行Tc值测试时,因引入热负载导致降温缓慢,同时因手动切换引线导致测试耗时较长的问题。

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