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三维存储器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110312416.7
  • IPC分类号:H01L27/11568;H01L27/11582
  • 申请日期:
    2021-03-24
  • 申请人:
    长江存储科技有限责任公司
著录项信息
专利名称三维存储器及其制备方法
申请号CN202110312416.7申请日期2021-03-24
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-14公开/公告号CN112802852A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/11568
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;6;8;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;8;2查看分类表>
申请人长江存储科技有限责任公司申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长江存储科技有限责任公司当前权利人长江存储科技有限责任公司
发明人张坤;陈赫;肖亮;伍术;华子群
代理机构北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙)代理人吴京顺
摘要
本申请提供一种三维存储器及制备方法。制备方法包括:在衬底的第一侧形成沿平行于衬底的第一方向间隔分布的多个沟槽组,其中每个沟槽组都包括两个第一沟槽,两个第一沟槽在平行于衬底的、与第一方向垂直的第二方向间隔固定距离;填充多个沟槽组并覆盖衬底的表面以形成支撑层;以及在支撑层上形成叠层结构,并在叠层结构中形成栅线间隙结构,其中,栅线间隙结构贯穿叠层结构并延伸至支撑层的、位于固定距离内的部分。通过该制备方法,在衬底与栅线间隙相对的部分中加入支撑结构,可有效减少,甚至抑制衬底在三维存储器的制备过程中发生形变和塌陷。

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