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废气处理设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510023086.0
  • IPC分类号:B01D50/00
  • 申请日期:
    2005-12-26
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司;财团法人工业技术研究院
著录项信息
专利名称废气处理设备
申请号CN200510023086.0申请日期2005-12-26
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2007-07-04公开/公告号CN1990085
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D50/00IPC分类号B;0;1;D;5;0;/;0;0查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司;财团法人工业技术研究院申请人地址
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司,财团法人工业技术研究院当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司,财团法人工业技术研究院
发明人黄伟裕;洪煜堃;刘享星;古义榔;简弘民;吴信贤;黄俊超
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司代理人寿宁;张华辉
摘要
本发明是有关于一种废气处理设备,其包括一过滤装置,该过滤装置具有一滤材;一增湿液供应装置,以提供一增湿液附着于该过滤装置的该滤材;以及一气体抽送装置,该气体抽送装置连设于该过滤装置之后或之前,以抽送待过滤及待处理的气体通过该滤材。此设备可处理混合有液滴/微粒与气态污染物的废气,其中的过滤装置包括一增湿装置与一滤网,由增湿装置喷洒含界面活性剂的水溶液至滤网,此水溶液可降低滤网的表面能,增加静电吸引力,进而加强滤网对废气中小于1微米的液滴/微粒污染物的过滤效果。

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