一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610524992.7
IPC分类号：C30B33/10;H01L31/18
申请日期：
2016-07-05
申请人：
常州大学

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专利名称	一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法
申请号	CN201610524992.7	申请日期	2016-07-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-10-12	公开/公告号	CN106012027A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕 C30B33/10 在溶液或熔体内〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;1;0;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	常州大学	申请人地址	江苏省常州市武进区滆湖路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州大学	当前权利人	常州大学
发明人	吴王平;蒋金金;刘雪东;丁建宁
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法，该一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒这个槽体不配药液，其余均配液；单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上。多晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱洗→酸洗；单晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗。本发明避免了单多晶切换时再次换溶液的可能，有效地减少了能耗，提高了设备利用率及人力成本和延长了药液使用寿命，节约了成本。

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