一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201910185426.1
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
申请日期：
2019-03-12
申请人：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备
申请号	CN201910185426.1	申请日期	2019-03-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-06-25	公开/公告号	CN109935540A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人	上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司	申请人地址	上海市闵行区紫海路170号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海至纯洁净系统科技股份有限公司,至微半导体（上海）有限公司	当前权利人	上海至纯洁净系统科技股份有限公司,至微半导体（上海）有限公司
发明人	许峯嘉;庄海云;黎嘉豪
代理机构	上海智力专利商标事务所（普通合伙）	代理人	杜冰云

摘要

本发明公开了一种具有加热功能的夹取器及应用该夹取器的湿法槽式清洗设备，所述夹取器包括用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒的夹取手，以及用以带动夹取手动作的搬送机构；夹取手通过横杆与搬送机构相连接。本发明夹取器自带加热功能，当夹取器夹取湿晶圆盒时，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉，然后便可以将干晶圆盒搬送至目标位置，由原来配置干湿两个夹取器减少为一个夹取器，减小了生产成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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