热管制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200410028014.0
IPC分类号：H01L23/427;H05K7/20;G06F1/20;F28D15/02;B81B5/00
申请日期：
2004-07-06
申请人：
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	热管制造方法
申请号	CN200410028014.0	申请日期	2004-07-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-01-11	公开/公告号	CN1719600
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L23/427 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L23/00 半导体或其他固态器件的零部件（H01L 25/00优先）〔2，5〕 H01L23/34 冷却装置；加热装置；通风装置或温度补偿装置〔2，5〕 H01L23/42 为便于加热或冷却在容器里选择或配置的填料或辅助构件〔2，5〕 H01L23/427 通过物态改变而冷却的，例如使用热管〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;3;/;4;2;7;;;H;0;5;K;7;/;2;0;;;G;0;6;F;1;/;2;0;;;F;2;8;D;1;5;/;0;2;;;B;8;1;B;5;/;0;0查看分类表>
申请人	鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司	当前权利人	鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人	沈志华
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种热管的制造方法，包括以下步骤提供一基片，在该基片表面形成一氧化层；在该氧化层表面附着一光刻胶层；通过微机电制造技术在光刻胶层上形成通道；将通道的开口端封口；在光刻胶层表面覆盖一层高分子聚合物，形成热管的外壳；在外壳及光刻胶层上开设一供工作流体进入的孔口；由孔口向通道内充液；封孔。由该制造方法而得的热管所占空间小，可满足发热电子元件体积日趋变小的情况；热管管壁具有可挠性，能随意弯曲与发热电子元件一端接触，安装灵活不受发热电子元件空间限制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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