蚀刻电极装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201710012092.9
IPC分类号：H01J37/32;H01L21/3065
申请日期：
2017-01-06
申请人：
珠海宝丰堂电子科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	蚀刻电极装置
申请号	CN201710012092.9	申请日期	2017-01-06
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-17	公开/公告号	CN106683971A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人	珠海宝丰堂电子科技有限公司	申请人地址	广东省珠海市金湾区红旗镇永泰路6号A栋厂房A1一楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	珠海宝丰堂电子科技有限公司	当前权利人	珠海宝丰堂电子科技有限公司
发明人	赵公魄;赵芝强;丁雪苗
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	刘培培

摘要

本发明公开了一种蚀刻电极装置，包括至少一个电极本体，电极本体的内部设有冷却通道，冷却通道包括入水口和出水口；支撑框体，电极本体设于支撑框体内，支撑框体设有至少一个第一安装孔和至少一个第二安装孔；输液机构，输液机构包括第一输液组件和第二输液组件，第一输液组件穿设于第一安装孔、并与入水口连通，第二输液组件穿设于第二安装孔、并与出水口连通；及冷却液供给装置，冷却液供给装置与第一输液组件、第二输液组件管路连接。因而通过冷却液在电极本体内部的冷却通道内循环流动，可以有效降低气体电离撞击电极而产生的热量，进而确保产品蚀刻均匀性好，蚀刻速度高，保证产品较佳的加工质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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