探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410783238.6
IPC分类号：G01Q60/24;G01Q60/38
申请日期：
2014-12-16
申请人：
哈尔滨工业大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法
申请号	CN201410783238.6	申请日期	2014-12-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-04-08	公开/公告号	CN104502634A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;2;4;;;G;0;1;Q;6;0;/;3;8查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	谢晖;杨锋
代理机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所	代理人	岳昕

摘要

探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现连续可控分辨率三维扫描成像的问题。本发明通过控制探针针针尖在YZ平面内实时沿与XZ表面成Φ角的矢量上接近样品表面进行扫描，Φ值可以自动根据已扫描的样品表面信息进行动态调节，以此实现不同角度的表面的等分辨率扫描，有助于提高对微纳米结构性能检测及检测效率，从而为超大规模集成电路和甚超大规模集成电路检测提供了一种重要的工具。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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