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微裂纹应变传感元件及其制备方法和应用

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110578601.0
  • IPC分类号:G01B7/16;A61B5/00;A61B5/08;A61B5/024
  • 申请日期:
    2021-05-26
  • 申请人:
    苏州大学
著录项信息
专利名称微裂纹应变传感元件及其制备方法和应用
申请号CN202110578601.0申请日期2021-05-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2021-08-27公开/公告号CN113310395A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B7/16IPC分类号G;0;1;B;7;/;1;6;;;A;6;1;B;5;/;0;0;;;A;6;1;B;5;/;0;8;;;A;6;1;B;5;/;0;2;4查看分类表>
申请人苏州大学申请人地址
江苏省苏州市吴中区石湖西路188号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州大学当前权利人苏州大学
发明人王倩;杨智航;陈慧;归悦承;王可军;樊成;张雷
代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)代理人殷海霞
摘要
本发明公开了微裂纹应变传感元件及其制备方法和应用。所述微裂纹应变传感元件包括基底层、金属薄膜、保护层、输出电极、封装层;所述金属薄膜设于基底层上,所述金属薄膜由两种金属材料沉积而成,所述金属薄膜设有图案化裂纹结构;所述保护层设于金属薄膜上;所述输出电极连接于金属薄膜,用于输出电信号;所述封装层设于保护层上。本发明的微裂纹应变传感元件制备方法相较现有裂纹制备技术具有更高精度的裂纹可控性且不会影响裂纹的使用寿命,以及更优化的实际操作难度;微裂纹的应变传感元件的高灵敏度、可穿戴性、小型化等特点可在医学领域中得到广泛的应用。

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