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包含大粒度热解法二氧化硅的抗反射膜

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201280011106.0
  • IPC分类号:G02B1/111
  • 申请日期:
    2012-02-17
  • 申请人:
    3M创新有限公司
著录项信息
专利名称包含大粒度热解法二氧化硅的抗反射膜
申请号CN201280011106.0申请日期2012-02-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2014-01-15公开/公告号CN103518148A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B1/111IPC分类号G;0;2;B;1;/;1;1;1查看分类表>
申请人3M创新有限公司申请人地址
美国明尼苏达州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人3M创新有限公司当前权利人3M创新有限公司
发明人郝恩才;张俊颖;罗伯特·F·卡姆拉特;刘兰虹;程铭;吴荣圣;马克·J·佩莱里蒂;理查德·J·波科尔尼;苏雷什·S·耶尔
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人丁业平;金小芳
摘要
本发明描述了抗反射膜,所述抗反射膜包括透光性基底和设置在所述透光性基底上的低折射率层。所述低折射率层包含可聚合树脂组合物的反应产物,所述可聚合树脂组合物包含至少20重量%的热解法二氧化硅。在一个实施例中,所述可聚合树脂为烯键式不饱和的。在一优选实施例中,从透光性基底界面到相对的多孔表面,所述低折射率层的孔隙度增大。

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