用于液晶半导体成膜的高效率冷却背板装置

实用新型有效专利

申请号：
CN202120639579.1
IPC分类号：F28D21/00F28F13/12F28F27/02
申请日期：
2021-03-29
申请人：
京浜乐梦金属科技（苏州）有限公司

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著录项信息

专利名称	用于液晶半导体成膜的高效率冷却背板装置
申请号	CN202120639579.1	申请日期	2021-03-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F28D21/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F28 一般热交换 F28D 其他小类中不包括的热交换设备，其中热交换介质不直接接触的（传热、热交换或储热材料入C09K 5/00；有热量产生装置的和传热装置的流体加热器入F24H；炉入F27；一般用途的热交换设备的零部件入F28F）；一般贮热装置或设备〔4〕 F28D21/00 不包含在F28D 1/00至F28D 20/00任何组内的热交换设备〔4〕	IPC分类号	F28D21/00;F28F13/12;F28F27/02查看分类表>
申请人	京浜乐梦金属科技（苏州）有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区泰山路2号38幢*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京浜乐梦金属科技（苏州）有限公司	当前权利人	京浜乐梦金属科技（苏州）有限公司
发明人	松本光裕
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了半导体生产技术领域的用于液晶半导体成膜的高效率冷却背板装置，包括冷却背板和冷却箱，所述冷却背板的上方设置有靶材，所述冷却背板设置在冷却箱的上方，所述冷却箱左侧端面固定连接有内腔连通的进水管道，所述进水管道的管口处固定连接有进水法兰盘，所述冷却箱的右侧端面固定连接有内腔连通的出水管道，所述出水管道的管口处固定连接有出水法兰盘，所述冷却箱包括多组安装槽，每组所述安装槽中包括有放置板，每组所述放置板上设置有永磁体，所述放置板与永磁体活动连接，所述永磁体与冷却背板接触，所述冷却箱中设置有两组监控芯片，所述冷却箱中设置有多组扰流机构，本实用新型旨在解决靶材遇到高温容易损坏的问题。